表面粗糙度测量功能

1. 高分辨力型Z1轴检出器作为标准件提 供。Z1轴的高显示分辨力为μm (测量范围为8μm时)。 2.X轴内置高精度玻璃光栅尺，直接读取X 轴移动距离，在高精度精准定位下，完 成间距参数的评价。

3.检出器测力有4mN和可选。

轮廓测量功能

•Z1轴(检出器)上配有高精度弧形光栅尺和 新型测臂。高精度弧形光栅尺能直接读 取测针的弧形轨迹，以实现高精度和高 分辨力。与传统型号相比，新测臂使Z1 轴测量范围增大了10mm 同时减少了工 件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接 件，单此接触就能完成测臂的装卸，提高了易用性。