简介

美国Tousimis临界点干燥仪适用于生物样品、凝胶、MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆等材料的干燥，避免样品在干燥过程中受损。该设备利用CO2临界点状态下的无液相表面张力原理，确保样品形貌的真实性和完整性。Tousimis提供多种型号的临界点干燥仪，包括非洁净室和洁净室版本，满足不同应用场景需求，如电镜制样和超净间内的材料研究。这些设备具备全自动程序控制、高精度温度和压力控制、防静电设计等特点，确保干燥过程的高效、精确和可重复性。

美国Tousimis临界点干燥仪Cleanroom洁净室版

美国Tousimis临界点干燥仪（CPD）产品分为非洁净室版本和洁净室（Cleanroom）版本两大类，前者常用于电镜制样，后者多用于超净间内的材料研究用途。

Tousimis临界点干燥仪Cleanroom洁净室版本共有9个型号：Autosamdri-815 Series B全自动临界点干燥仪可用于裸片和1”晶圆；Autosamdri-815B Series B全自动临界点干燥仪可用于4”晶圆；Automegasamdri-915B Series B全自动临界点干燥仪可用于6”晶圆；Autosamdri-931_1.25"、Autosamdri-931_2.50"、Autosamdri-931_3.40"多用途触摸屏全自动临界点干燥仪；Autosamdri-934触摸屏全自动C系列临界点干燥仪可用于4”晶圆；Automegasamdri-936、938触摸屏全自动C系列临界点干燥仪分别用于 6”和8”晶圆。

AUTOSAMDRI®-931 Cleanroom系列

该系列CPD的工作腔室有三种尺寸可供选择：

1.25" I.D. x 1.25" Depth - 25ml Volume

2.50" I.D. x 1.25" Depth - 100ml Volume

3.40" I.D. x 1.25" Depth - 186ml Volume

压力测量范围：0-2000psi.

温度测量范围：-30°C to 60°C

控制方式：配VGA LCD触摸屏，全自动程序控制

控温方式：全自动温度、压力控制；放气方式：微流量阀精确控制

v  默认“自动模式”设置，适用于大多数晶圆和方形裸片MEMS应用

v  每次可处理多达 5片基板（晶圆或裸片）

v  配备耐氟样品架，可选不同腔室分别用于干燥3"、2"直径的晶圆或边长为10mm的方形裸片

v  对于外部钢瓶供应的液态CO2，采用双T型过滤器进行颗粒过滤，截留率为99.5%以上

v  内部过滤可将过滤后的液态CO2直接输送至工作腔室， 颗粒过滤低至0.08µm，截留率为99.999%以上

v  内置SOTER™ 冷凝器，分离废弃乙醇和二氧化碳，消除任何管路冻结或机体静电，整个过程无噪声

v  "Stasis软件" ，干燥凝胶和其它复杂样品

AUTOSAMDRI®-815/815B Series B系列

外形尺寸：815 Series B  14"(W) x 10.25"(H) x 21.50"(L)；815B Series B  14.25"(W) x 11.75"(H) * 25.0"(L)

工作腔室尺寸：815 Series B  1.25"I.D. x 1.25"Depth；815B Series B  4.5"I.D. x 1.25"Depth

压力测量范围：0-2000psi.

温度测量范围：-30°C to 60°C

控制方式：全自动按键操作

控温方式：全自动温度、压力控制；放气方式：微流量阀精确控制

v  通过微处理控制器来实现全自动处理过程

v  内表面材质耐用于CO2，超纯乙醇和丙酮环境

v  自动控制系统压力和保持压力稳定性

v  内部过滤可将过滤后的液态CO2直接输送至工作腔室， 颗粒过滤低至0.08µm，截留率为99.999%以上

v  基于不同尺寸腔室，每次运行可以处理5 x 4"，5 x 3", 5 x 2"，5 x 1"直径的晶圆或者5 x 10mm方形裸片(提供可以耐氟的晶圆/方形裸片样品架，方便运输和处理晶圆和方形裸片)

v  内置SOTER™ 冷凝器，分离废弃乙醇和二氧化碳，消除任何管路冻结或机体静电，整个过程无噪声

v  815B Series B带有独特的腔室填充块，以减小腔室尺寸，使液态CO2的使用效率大化

注：美国Tousimis产品已有近50年的历史，在中国乃至全球客户中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超临界干燥仪中国区代理。Tousimis临界点干燥仪产品分为非洁净室版本和洁净室版本两大类，前者常用于电镜制样，后者多用于超净间内的材料研究用途；

非洁净室版本共有7款CPD：

1）Samdri®-PVT-3D常规临界点干燥仪

2）Samdri®-795半自动临界点干燥仪

3）Autosamdri®-815 Series A全自动临界点干燥仪

4）Autosamdri®-815B Series A全自动临界点干燥仪

5）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动临界点干燥仪

6）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动临界点干燥仪

7）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏全自动临界点干燥仪

洁净室版本共有9款CPD：

1）Autosamdri®-815 Series B全自动临界点干燥仪For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自动临界点干燥仪For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自动临界点干燥仪For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

5）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

6）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏多用途全自动临界点干燥仪

7）Autosamdri®-934触摸屏C系列全自动临界点干燥仪

8）Automegasamdri®-936触摸屏C系列全自动临界点`干燥仪

9）Automegasamdri®-938触摸屏C系列全自动临界点干燥仪