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国产源表搭建半导体场效应晶体管IV特性测试实验

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详细信息国产源表搭建半导体场效应晶体管IV特性测试实验

半导体分立器件是组成集成电路的基础,包含大量的双端口或三端口器件,如二极管,晶体管,场效应管等。 直流I-V测试是表征微电子器件工艺及材料特性的基础,通常使用I-V特性分析或I-V曲线来决定器件的基本参数。

 

分立器件I-V特性测试的主要目的是通过实验帮助工程师提取半导体器件的基本I-V特性参数,并在整个工艺流程结束后评估器件的优劣。在半导体制程的多个阶段都有应用,如金属互连,镀层阶段,芯片封装后的测试等。

 

普赛斯仪表开发的半导体分立器件I-V特性测试方案,由一台或两台源精密源测量单元(SMU)、夹具或探针台、上位机软件构成。以三端口MOSFET器件为例,配套以下设备:

两台S型数字源表

四根三同轴电缆

夹具或带有三同轴接口的探针台

三同轴T型头


需要测试的参数:
输出特性曲线

转移特性曲线

跨导 gm

击穿电压 BVDS


需要仪器列表:
SMU 源表

探针台或夹具

普赛斯上位机软件


高校相关专业
测控,微电子

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