低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。）
等离子除臭设备内部装有独特的碰吸单元，截留去除臭气中的颗粒物质；臭气收集系统收集的多元素气体经过等离子除臭设备，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的臭气离子进行电离荷电除臭，带电的微小离子（尘埃粒子）被吸附单元所收集，并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的有害气体，被电场内所产生的臭氧所杀菌，并去除了异味，有害气体被除掉，去除率经试验检测，去除率达到93%以上，洁净的空气经出风口排出，达标排放。
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