3MFC40电子氟化液
3M氟化液FC-40是无色透明全氟化学品，具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和的表面张力应用于半导体制造厂作为热传导介质。其液体温度范围为-57°C 至 155°C，主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。因为FC-40是单一组分，所以其成分不好出现降解或者过期。FC-40沸点高，其随时间的挥发也比较少。
1、载冷剂在工作温度下应处于液体状态；其凝固温度应**工作温度，沸点应**工作温度；
2、热容要大；
3、密度小；
4、粘度小；化学的稳定性好。对设备和管道无腐蚀；
5、载冷剂应不燃烧、爆炸、无毒，对人体无害。
