检测原理是：HS-Phys-SimPLe系统是一种高分辨率光致发光（PL）扫描映射系统，用于表征直径高达400mm的半导体晶片。使用专门设计的高强度激光源来激发半导体材料中的少子载流子。
三种类型复合载体：SRH（Shockley-Read-Hall）深能级复合，Auger俄歇复合和Radiative辐射复合。在较低注入水平下，Auger俄歇复合可以忽略不计，因此“清洁”区域由辐射控制，而污染区域主要由SRH深能级复合控制。由于结晶滑移缺陷就像溶解污染的吸杂点，具有较低的辐射发射。因此可以通过PL技术将其可视化。
产品特点
■ 直径达400mm、厚度达30mm的晶片检查
■ 60μm分辨率下的滑移线检测
■ 更多波长可供选择
■ 检测速度：12英寸-13分钟，8英寸-5分钟
■ 利用优化的波长和过滤进行PL滑移线检查，可以发现制程中尚未发现的问题
■ 显示更小的滑移线等内部缺陷。
■ 自动晶圆探测器
■ 自动参数设置
■ 即使在低信号采样上也具有高分辨率和高对比度
